產(chǎn)品
683B-23795 MKS排氣節(jié)流閥設計用于調(diào)節(jié)和控制工業(yè)過程中的排氣流量。它提供精確可靠的廢氣節(jié)流，實現(xiàn)高效的過程控制。
特征
特點和優(yōu)點
?設計符合ODVA規(guī)范，確保無縫集成
?緊湊的壓力控制系統(tǒng)集成了節(jié)流閥組件內(nèi)的控制、通信和閥門驅(qū)動電路
?兩個內(nèi)置報警跳閘點承受狀態(tài)指示器提供硬線安全聯(lián)鎖-可編程用于壓力、位置，或設定點限制
?壓力控制（PID）和擋板位置控制的可配置操作模式
?數(shù)字數(shù)據(jù)傳輸提供了對系統(tǒng)噪音的靈活性
?智能屬性提供了對關鍵設置和運行時間參數(shù)的監(jiān)測和控制
?的線性閥門傳輸特性提供了平滑的線性壓力控制
?有流行的ISO法蘭樣式可供選擇?密封尺寸最多可提供2“孔683B閥門解決方案ISCONTINUED
MKS 683型智能排氣節(jié)流閥專為需要簡單壓力控制系統(tǒng)的計算機集成應用而設計。683通過一個緊湊的“附加"電子模塊將所有控制、通信和驅(qū)動電路集成到MKS 253型節(jié)流閥總成上，從而無需安裝單獨的壓力控制電子模塊。第二代PID控制算法可以進行調(diào)整，以驅(qū)動系統(tǒng)快速設定點，并在無操作員參與的情況下確保可重復的工藝配方。回路調(diào)諧參數(shù)可調(diào)節(jié)，以適應系統(tǒng)參數(shù)的變化。
683型節(jié)流閥有兩種模式：擋板定位或壓力控制，其中任何一種都可以通過網(wǎng)絡通信接口由用戶激活。所有可調(diào)整的設置參數(shù)、運行時操作和診斷信息都可以通過網(wǎng)絡通信接口獲得。683型還包括可調(diào)節(jié)的軟啟動功能，用于改變設定值，以限度地減少湍流，從而減少室內(nèi)的顆粒分布。兩個報警繼電器輸出可在規(guī)定的壓力、閥門位置或設定點偏差設置下調(diào)節(jié)跳閘。683型被設計為與MKS Digital Baratron®電容式壓力計兼容，以提供通過網(wǎng)絡進行閉環(huán)壓力控制所需的所有組件?；蛘?，683型將接受來自傳統(tǒng)模擬Baratron電容式壓力計的0-10 VDC信號，用于閉環(huán)控制。這種下游壓力控制技術提供了寬的動態(tài)范圍，適用于所有類型的泵，提供快速響應，并能耐受大多數(shù)廢氣。
683B-23795 MKS排氣節(jié)流閥是一款高質(zhì)量的閥門，旨在調(diào)節(jié)工業(yè)應用中的廢氣流量。它提供了對氣體流量的精確控制，從而在各種過程中實現(xiàn)性能和效率。該閥門的建造考慮到了耐用性和可靠性，即使在苛刻的環(huán)境中也能確保長期運行。其簡單的安裝和維護程序使其成為工業(yè)設置的方便選擇。
應用領域
683B-23795 MKS排氣節(jié)流閥可應用于半導體制造、真空系統(tǒng)、工業(yè)過程控制等領域。
