產(chǎn)品|公司|采購(gòu)|招標(biāo)

網(wǎng)站幫助網(wǎng)站服務(wù)發(fā)布采購(gòu)發(fā)布供應(yīng)

渦輪分子泵應(yīng)用于電子束蒸發(fā)鍍膜

參考價(jià)面議
具體成交價(jià)以合同協(xié)議為準(zhǔn)
產(chǎn)品標(biāo)簽:

在線詢價(jià)收藏產(chǎn)品 點(diǎn)擊查看聯(lián)系電話
伯東公司成立于1953 年,范圍內(nèi)有一千七百名員工。伯東企業(yè)(上海)有限公司()主要從事半導(dǎo)體設(shè)備、電子零部件加工、銷售及相關(guān)服務(wù)工作,集團(tuán)年?duì)I業(yè)額約為100億人民幣。伯東公司在國(guó)內(nèi)主要城市:北京、蘇州、廣州、深圳、成都及廈門(mén)設(shè)有營(yíng)業(yè)據(jù)點(diǎn)。上海伯東真空產(chǎn)品事業(yè)部秉承為廣大中國(guó)客戶提供的真空產(chǎn)品、推動(dòng)中國(guó)真空工藝發(fā)展、承擔(dān)企業(yè)社會(huì)責(zé)任為經(jīng)營(yíng)理念,已累計(jì)為超過(guò)10,000家企業(yè)提供真空服務(wù),覆蓋工業(yè)、半導(dǎo)體、鍍膜、科研和分析行業(yè)。上海伯東代理品牌包含:德國(guó)Pfeiffer 全系列真空產(chǎn)品、美國(guó) KRI 離子源、美國(guó)Brooks Polycold 制冷機(jī),美國(guó)HVA 真空閥門(mén),美國(guó) inTEST(Temptronic)高速溫度循環(huán)測(cè)試機(jī),離子蝕刻機(jī),真空鍍膜系統(tǒng)及配套真空零配件等。上海伯東作為國(guó)際真空品牌代理商,全權(quán)負(fù)責(zé)在中國(guó)地區(qū)的銷售和維修服務(wù),99% 使用原廠進(jìn)口零部件以及國(guó)外受訓(xùn)維修工程師;擁有的拆解,維修,校正能力并提供24小時(shí)在線服務(wù)。
沖擊試驗(yàn)箱,交變?cè)囼?yàn)箱,水浴,油浴
渦輪分子泵應(yīng)用于電子束蒸發(fā)鍍膜 產(chǎn)品信息

Pfeiffer 渦輪分子泵應(yīng)用于電子束蒸發(fā)鍍膜
電子束蒸鍍是 PVD 薄膜沉積技術(shù)的一種. 與傳統(tǒng)熱阻蒸鍍方式不同, 電子束蒸鍍利用電磁場(chǎng)的配合可以精準(zhǔn)地實(shí)現(xiàn)利用高能電子轟擊坩堝內(nèi)靶材, 使之融化進(jìn)而沉積在基片上. 電子束蒸鍍可以鍍出高純度高精度的薄膜. 電子束是一種高速的電子流. 電子束蒸發(fā)是目前真空鍍膜技術(shù)中一種成熟且主要的鍍膜方法, 它解決了電阻加熱方式中膜料與蒸鍍?cè)床牧现苯咏佑|容易互混的問(wèn)題. 電子束蒸發(fā)廣泛應(yīng)用于家電電器, 鐘表, 燈具, 工藝美術(shù)品, 玩具, 車燈反光罩, 手機(jī)按鍵外殼以及儀器儀表, 塑料, 玻璃, 陶瓷、磁磚等表面裝飾性鍍膜及工模具的功能涂層.

電子束蒸鍍是利用加速電子轟擊鍍膜材料, 電子的動(dòng)能轉(zhuǎn)換成熱能使鍍膜材料加熱蒸發(fā)并成膜. 電子束加熱蒸鍍的特點(diǎn)是能獲得的能量密度, 可達(dá) 109w/cm2, 加熱溫度可達(dá) 3000~6000℃, 可以蒸發(fā)難熔金屬或化合物; 被蒸發(fā)材料置于水冷的坩堝中, 可避免坩堝材料的污染, 制備高純薄膜; 另外, 由于蒸發(fā)物加熱面積小, 因而熱輻射損失減少, 熱效率高

電子束蒸發(fā)鍍膜需要高真空環(huán)境!
電子束蒸發(fā)法是在真空條件下利用電子束進(jìn)行直接加熱蒸發(fā)材料, 使蒸發(fā)材料氣化并向基板輸運(yùn), 在基底上凝結(jié)形成薄膜的方法. 常見(jiàn)于半導(dǎo)體科研工業(yè)領(lǐng)域. 利用加速后的電子能量打擊材料標(biāo)靶, 使材料標(biāo)靶蒸發(fā)升騰. 最終沉積到目標(biāo)上.
在蒸發(fā)鍍膜設(shè)備中, 真空鍍膜室的本底真空度要求較高, 一般真空度越高, 腔室內(nèi)雜質(zhì)氣體的量越少, 鍍膜材料在沉積到基片上的過(guò)程中, 與環(huán)境中的雜質(zhì)氣體碰撞變少, 粒子的能量大, 可以在基片上形成更致密均勻的膜, 由于分子泵的無(wú)油和高真空特性, 逐漸取代了有油的擴(kuò)散泵成為的真空系統(tǒng), 上海伯東德國(guó)普發(fā) Pfeiffer 分子泵成功應(yīng)用于此.

上海伯東電子束蒸發(fā)鍍膜客戶案例一: 某大學(xué)微電子學(xué)系, 電子束蒸發(fā)鍍膜系統(tǒng)配置德國(guó) Pfeiffer 分子泵 HiPace 2300, 用于生長(zhǎng)半導(dǎo)體材料, 金屬膜, Mn 氧化物膜. 系統(tǒng)主要參數(shù)如下
1. 真空度要求: 5x10-7 mbar
2. 基片尺寸: ≤Ф12英寸
3. 電子槍功率: 5-10KW
4. 襯底溫度:350℃
7. 溫度均勻性:±10℃
7.樣平臺(tái)轉(zhuǎn)速:≤20r/min
8. 坩堝數(shù)量:4
9. 鍍膜均勻性:±5%(Al)
10. 控制系統(tǒng):PC+PLC全自動(dòng)控制

電子蒸發(fā)真空系統(tǒng)配置

分子泵 HiPace 2300

渦輪分子泵 HiPace 2300
接口: DN 250 CF-F
極限真空: < 5X10-10 mbar
氮?dú)鈮嚎s比: > 1X1011
抽速: 1900 l/s

全量程真空計(jì)

全量程真空計(jì) PKR 251
測(cè)量范圍: 5E-9至 1000
如下三種接口可選
DN25 ISO-KF
DN40 ISO-KF
DN40 CF-F


伯東Pfeiffer分子泵應(yīng)用于電子束蒸發(fā)鍍膜系統(tǒng)
Pfeiffer 渦輪分子泵抽速范圍 10 至 2700 L/S, 轉(zhuǎn)速 90,000 rpm, 極限真空 1E-11 mbar, 對(duì)小分子氣體具有更高的壓縮比, 實(shí)踐證明 Pfeiffer 渦輪分子泵運(yùn)行時(shí)間可以達(dá)到 100,000 小時(shí)! 普發(fā)分子泵提供復(fù)合軸承分子泵和五軸全磁浮分子泵二大系列滿足不同應(yīng)用, 推薦搭配 Pfeiffer 旋片泵干泵共同使用. 更多分子泵典型應(yīng)用 >>

鑒于客戶信息保密, 若您需要進(jìn)一步的了解詳細(xì)信息或討論, 請(qǐng)參考以下聯(lián)絡(luò)方式
上海伯東: 葉女士 中國(guó)臺(tái)灣伯東: 王女士
T: +86-21-5046-3511 ext 109 T: +886-03-567-9508 ext 161
F: +86-21-5046-1490 F: +886-03-567-0049
M: +86 1391-883-7267 M: +886-939-653-958
ec ec.tw
上海伯東版權(quán)所有, 翻拷必究!

在找 渦輪分子泵應(yīng)用于電子束蒸發(fā)鍍膜 產(chǎn)品的人還在看

提示

×

*您想獲取產(chǎn)品的資料:

以上可多選,勾選其他,可自行輸入要求

個(gè)人信息:

對(duì)比欄

下載農(nóng)機(jī)E站APP
讓生意變得更容易!農(nóng)機(jī)E站APP
微信公眾號(hào)

微信公眾號(hào)

農(nóng)機(jī)網(wǎng)微信號(hào)

編輯部:228800377 客服部:749212133市場(chǎng)部:2756149947