Pfeiffer 分子泵應(yīng)用于分子束外延 MBE 與掃描隧道顯微鏡 STM 聯(lián)用系統(tǒng) -- 分析生長(zhǎng)晶體表面結(jié)構(gòu)
分子束外延 MBE 是一種晶體生長(zhǎng)技術(shù), 將半導(dǎo)體襯底放置在超高真空腔體中, 和將需要生長(zhǎng)的單晶物質(zhì)按元素的不同分別放在噴射爐中, 由分別加熱到相應(yīng)溫度的各元素噴射出的分子流能在襯底上生長(zhǎng)出極薄的, 可薄至單原子層水平, 單晶體和幾種物質(zhì)交替的超晶格結(jié)構(gòu).
掃描隧道顯微鏡 STM 是一種利用量子理論中的隧道效應(yīng)探測(cè)物質(zhì)表面結(jié)構(gòu)的儀器, STM 技術(shù)的在于可獲得原子級(jí)的分辨率.
分子束外延 MBE 與掃描隧道顯微鏡 STM 聯(lián)用: 可以成功分析 MBE 生長(zhǎng)晶體表面結(jié)構(gòu), 這種聯(lián)用現(xiàn)已廣泛應(yīng)用于各大院校和研究院應(yīng)用表面物理實(shí)驗(yàn)中. 分子束外延 MBE 與掃描隧道顯微鏡 STM 系統(tǒng)都需要在超高真空環(huán)境中進(jìn)行, 對(duì)真空度要求及其高, 需要分子泵低振動(dòng), 低噪音, 清潔無(wú)油確保超高真空的穩(wěn)定性已保證晶格的生長(zhǎng)和后期的探測(cè)分析. 上海伯東 Pfeiffer 分子泵搭配美國(guó) HVA 真空閥門(mén)成功應(yīng)用于此行業(yè).
上海伯東 MBE 與 STM 聯(lián)用客戶案例: 某大學(xué)自主搭建分子束外延與掃描隧道顯微鏡系統(tǒng),經(jīng)過(guò)伯東推薦,采用 Pfeiffer 分子泵 Hipace 300 和渦輪分子泵 Hipace 80 并搭配美國(guó) HVA 真空閘閥成功分析生長(zhǎng)晶體表面結(jié)構(gòu).
超高真空系統(tǒng)配置:
| 渦輪分子泵 HiPace 300 | |
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| 渦輪分子泵 HiPace 80 |
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| HVA 超過(guò)真空閘閥 11000 |
上海伯東 Pfeiffer 分子泵廣泛應(yīng)用于友廠, 如英?？?Inficon UL1000 氦質(zhì)譜檢漏儀, 愛(ài)發(fā)科 Ulvac Heliot 氦質(zhì)譜檢漏儀, 布魯克 Bruke 醫(yī)療設(shè)備, 島津 Shimadzu 分析儀器等.
Pfeiffer 渦輪分子泵抽速范圍 10 至 2700 L/S, 轉(zhuǎn)速 90,000 rpm, 極限真空 1E-11 mbar, 對(duì)小分子氣體具有更高的壓縮比, 實(shí)踐證明 Pfeiffer 渦輪分子泵運(yùn)行時(shí)間可以達(dá)到 100,000 小時(shí)! 普發(fā)分子泵提供復(fù)合軸承分子泵和五軸全磁浮分子泵二大系列滿足不同應(yīng)用, 推薦搭配 Pfeiffer 旋片泵和干泵共同使用. 更多分子泵典型應(yīng)用 >>
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