氣動超高真空插板閥
一、氣動超高真空插板閥產(chǎn)品介紹:
氣動超高真空插板閥是用壓縮空氣為動力,通過電磁換向閥改變氣路方向,推動氣缸活塞,驅(qū)動閥板作上下運(yùn)動,實現(xiàn)閥門的開啟或關(guān)閉,從而達(dá)到在超高真空系統(tǒng)中接通或切斷氣流的目的。
二、氣動超高真空插板閥主要性能參數(shù):
適用范圍(Pa) | 105~1.3x10-7 |
閥門漏率(Pa.L/S) | ≤1.3x10-7(DN≤200) |
適用溫度(℃) | -30~150(除傳動裝置外) |
開閥時閥板兩側(cè)壓力差(Pa) | ≤2.7x103 |
氣源壓力(MPa) | 0.4~0.6 |
三、氣動超高真空插板閥主要材料:
閥體、閥板:不銹鋼
密封件:氟橡膠、波紋管(軸封)
四、氣動超高真空插板閥主要外形連接尺寸:
653
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