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經(jīng)營(yíng)模式：生產(chǎn)廠家
商鋪產(chǎn)品：198條
所在地區(qū)：廣東深圳市
聯(lián)系人：何先生 （經(jīng)理）
ET系列勻膠機(jī)適應(yīng)于半導(dǎo)體硅片，載玻片，晶片，基片，ITO導(dǎo)電玻璃等工藝，制版的表面涂覆。該產(chǎn)品具有轉(zhuǎn)速穩(wěn)定和啟動(dòng)迅速等優(yōu)點(diǎn)，并能保證半導(dǎo)體材料中涂膠厚度的一致性和均勻性。通常配無(wú)油真空泵一起使用。 英文叫Spin Coater或者Spin Processor，又稱(chēng)：旋
產(chǎn)品介紹
ET系列勻膠機(jī)適應(yīng)于半導(dǎo)體硅片，載玻片，晶片，基片，ITO導(dǎo)電玻璃等工藝，制版的表面涂覆。該產(chǎn)品具有轉(zhuǎn)速穩(wěn)定和啟動(dòng)迅速等優(yōu)點(diǎn)，并能保證半導(dǎo)體材料中涂膠厚度的一致性和均勻性。通常配無(wú)油真空泵一起使用。
英文叫Spin Coater或者Spin Processor，又稱(chēng)：旋涂?jī)x、旋涂機(jī)、甩膠機(jī)、勻膠臺(tái)、旋轉(zhuǎn)涂膠機(jī)、旋轉(zhuǎn)涂膜機(jī)、旋轉(zhuǎn)涂層機(jī)、旋轉(zhuǎn)涂布機(jī)、旋轉(zhuǎn)薄膜機(jī)、旋轉(zhuǎn)涂覆儀、旋轉(zhuǎn)涂膜儀、勻膜機(jī)。
采用閉環(huán)控制伺服電機(jī)，數(shù)字式增速信號(hào)反饋，速勻準(zhǔn)確，壽命長(zhǎng)，保證勻膠的均一性。
5寸全彩觸摸屏，智能程序化可編程操控顯示，標(biāo)配10個(gè)勻膠梯度階段(速度和時(shí)間梯度設(shè)置)，可選配10個(gè)可編程程序，每個(gè)程序下可設(shè)置10個(gè)勻膠梯度階段，z多100個(gè)階段。
內(nèi)置水平校準(zhǔn)裝置，保證旋涂均勻，可對(duì)大小不同規(guī)格的基片進(jìn)行旋涂。
多重安全保護(hù):
電磁安全開(kāi)關(guān)，蓋子打開(kāi)卡盤(pán)停止，保證安全;
蓋子自鎖功能，防止飛片蓋彈開(kāi)傷人;
雙重安全上蓋，聚四氟嵌鑲鋼化玻璃，避免單一玻璃或者亞克力上蓋飛片傷人，限度保證實(shí)驗(yàn)人員安全。
樣品托盤(pán)卡口和樣品托盤(pán)之間三重密封安全保護(hù)，有效降低電機(jī)進(jìn)膠的風(fēng)險(xiǎn)。
一機(jī)兩用，根據(jù)不同樣品可選真空吸盤(pán)和非真空卡盤(pán)兩種旋涂方式。
符合人體功能學(xué)的水平取放樣品旋涂托盤(pán)設(shè)計(jì)，取放樣品方便。
不銹鋼噴塑涂層旋涂殼體，旋涂腔體采用PTFE材料。旋涂托盤(pán)采用聚丙烯(NPP-H)材料，耐酸堿防腐蝕，保證儀器在苛刻條件下仍能正常運(yùn)行。
上下雙腔體設(shè)計(jì)，較大的上腔體便于擦拭去除膠液，錐形下腔體結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)便于收集膠液，并帶廢膠
勻膠機(jī)轉(zhuǎn)速穩(wěn)定、啟動(dòng)迅速，旋涂均勻，操作簡(jiǎn)單，結(jié)構(gòu)緊湊實(shí)用，為實(shí)驗(yàn)室提供了理想的解決方案。廣泛應(yīng)用于微電子、半導(dǎo)體、新能源、化工材料、生物材料、光學(xué)，硅片、載玻片，晶片，基片，ITO 導(dǎo)電玻璃等工藝制版表面涂覆等。
勻膠機(jī)轉(zhuǎn)速穩(wěn)定、啟動(dòng)迅速，旋涂均勻，操作簡(jiǎn)單，結(jié)構(gòu)緊湊實(shí)用，為實(shí)驗(yàn)室提供了理想的解決方案。
| 類(lèi)別 | 型號(hào) | 特點(diǎn) | 對(duì)比 |
通用型 | ET-4A | 皮實(shí)耐用， | 皮實(shí)耐用,性?xún)r(jià)比高,國(guó)產(chǎn)電機(jī) |
| ET-4B | 304不銹鋼材質(zhì)防酸防堿防腐蝕 | 4A升級(jí)款,不銹鋼機(jī)身,國(guó)產(chǎn)電機(jī) | |
中端型 | ET-4BC | 4.3寸彩色觸摸屏 可設(shè)10段速度段 加速度可調(diào) 轉(zhuǎn)速范圍50-10000轉(zhuǎn)/分鐘 | 4B升級(jí)款 4.3寸真彩色觸摸屏 存儲(chǔ)10段無(wú)數(shù)組數(shù)據(jù) 國(guó)產(chǎn)電機(jī) |
| ET-4C | 4.3寸真彩色觸摸屏，最多可設(shè)10段10組數(shù)據(jù)，加速度可調(diào)，帶USB口可外接鍵盤(pán)鼠標(biāo)U盤(pán)等設(shè)備，體積小巧可放入手套箱。可接無(wú)線鼠標(biāo)鍵盤(pán)：機(jī)器可放于手套箱內(nèi),同時(shí)客戶(hù)可在手套箱外遠(yuǎn)程操作機(jī)器 1.帶防飛片保護(hù)與報(bào)警 2.帶防進(jìn)膠保護(hù)與報(bào)警 3.帶自動(dòng)取片提示功能 | 帶USB通信接口 可正反轉(zhuǎn)旋涂 美國(guó)進(jìn)口電機(jī) | |
型 | ET-4L | 8寸超大真彩色觸摸屏，最多可設(shè)15段無(wú)數(shù)組數(shù)據(jù)，加速度可調(diào)，帶USB口，串口，網(wǎng)口可外接鍵盤(pán)鼠標(biāo)U盤(pán)等設(shè)備 | 8寸超大真彩色觸摸屏 帶USB，RS485串口 可正反轉(zhuǎn)旋涂 德國(guó)進(jìn)口電機(jī) |
| ET-4E | 1.室溫-200℃精確控制， 2.8寸超大真彩色觸摸屏， 3.旋涂正反轉(zhuǎn)可自由切換， 4.可帶2-4路自動(dòng)滴膠顯影功能， 5.腔室采用PTFE材料防酸防堿防腐蝕 6.腔室?guī)С閺U氣功能 7.吸附不足報(bào)警與互鎖 8.帶進(jìn)膠保護(hù)與報(bào)警 | 帶加熱功能 可帶2-4路自動(dòng)滴膠顯影功能 腔室采用聚四氟乙烯材料 可正反轉(zhuǎn)旋涂 德國(guó)進(jìn)口電機(jī) | |
| ET-4 | 1.室溫-200℃精確控制 2.可放入手套箱 | 可放入手套箱 腔室采用聚四氟乙烯材料 | |
| ET-4Q | 1.旋涂基片可支持300mm(12寸)基片 2.帶機(jī)械手可編程涂膠顯影 | 桌面型 | |
| ET-4K | 1.旋涂基片可支持450mm基片 | 1.立柜結(jié)構(gòu)方便操作 | |
| ET-4X | 產(chǎn)線級(jí)旋涂顯影8寸或12寸硅片 | 工業(yè)機(jī)柜帶機(jī)械手 |
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