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磁懸浮分子泵 ATH 1600-3200M, ATP 2300M

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  Pfeiffer vacuum 普發(fā)真空
  美國 HVA真空閥門

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Pfeiffer 普發(fā)磁懸浮渦輪分子泵 ATH 1600-3200M, ATP 2300M
上海伯東德國 Pfeiffer 磁懸浮渦輪分子泵 ATH 1600-3200M, ATP 2300M: 抽速范圍在 1400-2800l/s 的磁懸浮渦輪分子泵. ATH 系列磁懸浮分子泵擁有5軸磁軸承監(jiān)測系統(tǒng)和實時的轉(zhuǎn)子位移自動修正功能確保長時間的穩(wěn)定性和可靠性, 同時運(yùn)行時也非常安靜. 磁懸浮渦輪分子泵 ATH 系列廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體, 鍍膜和離子刻蝕等行業(yè).

Pfeiffer 磁懸浮渦輪分子泵 ATH 1600-3200M, ATP 2300M 優(yōu)點(diǎn)
1. 清潔無油, 大抽速
2. 免維護(hù)低成本保養(yǎng)費(fèi)
3. 渦輪分子泵極低的噪音和震動
4. 可任意角度安裝
Pfeiffer 磁懸浮渦輪分子泵 ATH 1600-3200M，ATP 2300M

P
feiffer 磁懸浮渦輪分子泵 ATH 1600-3200M, ATP 2300M 技術(shù)參數(shù)

分子泵型號	分子泵連接尺寸 DN		抽速 l/s			壓縮比	啟動壓強(qiáng)hPa	極限壓力	全轉(zhuǎn)速氣體流量hPa l/s	啟動時間	重量
分子泵型號	進(jìn)氣口	排氣口	氮?dú)?br /> N₂	氦氣He	氫氣 H₂	氮?dú)?br /> N₂	氮?dú)釴₂	hPa	氮?dú)釴₂	min	kg
ATH 1603 M ATH 1600 MT	250	40	1,400	970	540	> 1X10⁸	1.7	< 6X10^–9	67	6	42
ATH 2303 M ATH 2300 MT	250	40	2,150	1,800	1,100	> 1X10⁸	2.9	< 6X10^–9	67	8	68
ATH 2800 M ATH 2800 MT	250	40	2,200	2,400	1,550	> 1X10⁸	2.1	< 6X10^–9	84	10	93
ATH 3200 M ATH 3200 MT	320	40	2,800	2,500	1,700	> 1X10⁸	2.1	< 6X10^–9	84	10	93
ATP 2300 M	320	40	1,950	2,050	1,700	> 1X10⁸	2.1	< 6X10^–9	37	8	60

MT 型號的分子泵配有集成加熱帶可以進(jìn)行溫度控制. 其自帶加熱系統(tǒng)和水冷系統(tǒng)同時作用, 可以確保泵的工作溫度相對恒定 (工作溫度75°C), 同時最小化過程化學(xué)物或副產(chǎn)物在泵體內(nèi)因冷凝而產(chǎn)生的沉積.

上海伯東 Pfeiffer 渦輪分子泵抽速范圍 10 至 2700 L/S, 轉(zhuǎn)速 90,000 rpm, 極限真空 1E-11 mbar, 對小分子氣體具有更高的壓縮比, 實踐證明 Pfeiffer 渦輪分子泵運(yùn)行時間可以達(dá)到 100,000 小時! 普發(fā)分子泵提供復(fù)合軸承分子泵和五軸全磁浮分子泵二大系列滿足不同應(yīng)用, 推薦搭配 Pfeiffer 旋片泵和干泵共同使用. 推薦分子泵典型應(yīng)用 >>

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