真空內(nèi)工件的測(cè)量問(wèn)題
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在精密器件生產(chǎn)行業(yè)，產(chǎn)品在生產(chǎn)過(guò)程中需要進(jìn)行真空隔離來(lái)進(jìn)行。如半導(dǎo)體、精密電路板塊等產(chǎn)品的生產(chǎn)過(guò)程中，需要在密封的玻璃空間內(nèi)進(jìn)行控制生產(chǎn)。而在生產(chǎn)中往往需要對(duì)產(chǎn)品、工件進(jìn)行定位，這就需要測(cè)量其位移和距離大小。由于被測(cè)物用玻璃隔離了，傳統(tǒng)的卡尺等接觸測(cè)量不能實(shí)現(xiàn)，需要使用非接觸式的測(cè)量方法。使用紅外測(cè)距傳感器ZLDS100激光位移傳感器可以實(shí)現(xiàn)密封空間里的物體的非接觸測(cè)量。
紅外測(cè)距傳感器ZLDS100采用的激光測(cè)量方法，可以直接穿過(guò)玻璃測(cè)量玻璃里面物體的距離。由于紅外測(cè)距傳感器ZLDS100的測(cè)量精度可以達(dá)到微米級(jí)，非常適合于半導(dǎo)體、精密元器件的在線生產(chǎn)檢測(cè)。
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產(chǎn)品工件位置測(cè)量
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工件在密封玻璃內(nèi)進(jìn)行加工或傳送是，需要測(cè)定其空間位置，以免工件偏離作業(yè)位置和移動(dòng)軌道。如下圖所示，在密封工件的玻璃外安裝三個(gè)紅外測(cè)距傳感器ZLDS100傳感器，就可以實(shí)現(xiàn)對(duì)工件左、右、上的距離測(cè)量，再把測(cè)得值減去工件原來(lái)安放的距離值，就可以得到工件的三維坐標(biāo)變化量。作業(yè)人員或者機(jī)械系統(tǒng)根據(jù)坐標(biāo)變化重新調(diào)整工件的位置。
????????? ???????????紅外測(cè)距傳感器ZLDS100對(duì)密封玻璃內(nèi)工件的檢測(cè)
產(chǎn)品工件尺寸大小測(cè)量：
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對(duì)一些尺寸大小要求很?chē)?yán)格的工件產(chǎn)品，紅外測(cè)距傳感器ZLDS100可以實(shí)現(xiàn)對(duì)其尺寸大小的測(cè)量，例如要測(cè)量工件的厚度值，可以在與工件長(zhǎng)邊的兩個(gè)側(cè)面安裝兩個(gè)紅外測(cè)距傳感器ZLDS100傳感器，兩個(gè)傳感器所測(cè)的到工件的距離為A、B，兩個(gè)傳感器之間距離為C，用C-（A+B）即可得工件的厚度。
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產(chǎn)品工件輪廓測(cè)量
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對(duì)于需要測(cè)量輪廓的工件產(chǎn)品，紅外測(cè)距傳感器ZLDS100組成的測(cè)量系統(tǒng)同樣可以把工件的輪廓通過(guò)圖形顯示出來(lái)，工作人員可以通過(guò)輪廓圖形監(jiān)控工件產(chǎn)品的輪廓形狀，系統(tǒng)配有輪廓限度值報(bào)警，輪廓值變異超出限度值時(shí)自動(dòng)報(bào)警，減輕工作人員工作量，提高生產(chǎn)效率。
使用紅外測(cè)距傳感器ZLDS100測(cè)量系統(tǒng)進(jìn)行測(cè)量的距離、尺寸、輪廓數(shù)據(jù)以及圖像都可以自動(dòng)存儲(chǔ)，方便生產(chǎn)、工作人員日后的管理統(tǒng)計(jì)分析。
技術(shù)特點(diǎn) |
◆?量身定制輪廓掃描,zui高精度5um； |
◆?高響應(yīng)頻率，9400Hz，幾乎滿足所有工業(yè)輪廓掃描； |
◆?連接生產(chǎn)系統(tǒng)，及時(shí)反映生產(chǎn)狀況； |
◆?與生產(chǎn)設(shè)備聯(lián)動(dòng)，精確定位需要掃描的位置； |
◆?綜合掃描，可以控制多個(gè)掃描同點(diǎn)同時(shí)掃掃描，綜合處理數(shù)據(jù)，zui多連接127個(gè)掃描點(diǎn)； |
◆?掃描數(shù)據(jù)可聯(lián)入內(nèi)部管理網(wǎng)絡(luò)，如ERP； |
◆?優(yōu)質(zhì)激光位移探頭紅外測(cè)距傳感器ZLDS100，適用各種材質(zhì)表面； |
◆?可根據(jù)特殊要求實(shí)現(xiàn)偏差報(bào)警； |
◆?系統(tǒng)成熟穩(wěn)定，軟件算法具有高可靠性及高可用性； |
◆?機(jī)械定位牢固準(zhǔn)確，無(wú)損傷非接觸測(cè)量； |
◆?高效率，解決人工無(wú)法實(shí)現(xiàn)的測(cè)量方式，提高生產(chǎn)品質(zhì)。 |
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